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HAM-LET
VANNE À MEMBRANE ULTRA RAPIDE

VANNE À MEMBRANE ULTRA RAPIDE

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VANNE À MEMBRANE ULTRA RAPIDE

Résumé du catalogue produit

Introduction
Le document présente les vannes à membrane ultra-haute pureté conçues pour des applications de dépôt par couches atomiques et des manœuvres ultra-rapides. Ces vannes sont en attente de brevet US 61/910,079.

Spécifications des vannes en ligne
- Structure : Vanne à étanchéité métallique par membrane, sans joint d’étanchéité.
- Pression : Vacuum à 150 psi (10 bar).
- Température : Chapeau standard de 14 à 248°F (10 à 120°C), chapeau allongé jusqu'à 392°F (200°C).
- Fuite : Intérieure ≤ 3x10^-10 atm cc He/sec, à travers le siège ≤ 1x10^-9 atm cc He/sec.
- Particules : Aucune particule détectée supérieure à 0.1μm.
- Fonctionnement : Pneumatique à grande vitesse, normalement fermé (NC).
- Valeur Cv : 0.6 / 0.25, ajustable.
- Configuration des ports : 2-port droit, 2-port L, 3-port, 4-port.
- Finition de surface : Ra (Ave)-Standard 5μin, surface électropolie.
- Approvisionnement d’air : 90-60 psig (6-4 bar).
- Temps de réponse : Moins de 5ms.

Matériaux
- Corps : Acier inoxydable, 316L VAR ou VIM/VAR.
- Siège : PFA.
- Membrane : Alliage Co-Cr-Ni.
- Autres composants : Divers alliages d'acier inoxydable et aluminium.

Spécifications des vannes montées en surface
- Structure similaire aux vannes en ligne avec des spécifications de pression, température et fuite identiques.
- Conformes à la norme SEMI PR 3.1 pour 1.112'' Joint-C.

Dimensions des modèles standards
Les dimensions des vannes sont fournies pour différentes tailles de corps et configurations de raccordement, avec des options de montage en surface et de soudure.

Recommandations
Le concepteur du système et l’utilisateur sont responsables du choix des produits adaptés à leurs besoins spécifiques, de l’installation correcte et de la maintenance du produit. Une sélection incorrecte peut entraîner des dommages matériels ou des blessures corporelles.

Référence de commande
Le document fournit un guide pour la commande des vannes avec des options de contrôle, tailles d’embout, matériaux, et configurations de ports.

Extraits du catalogue

VANNES À MEMBRANE HAUTE PURETÉ VANNE À MEMBRANE ULTRA RAPIDE VANNES À MEMBRANE ULTRA HAUTE PURETÉ POUR DES APPLICATIONS DE DÉPÔT PAR COUCHES ATOMIQUES ET DES APPLICATIONS DE MANŒUVRES ULTRA RAPIDES HAM-LET ADVANCED CONTROL TECHNOLOGY

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VANNES ULTRA RAPIDES À COMMANDE PNEUMATIQUE AVEC MEMBRANE MÉTALLIQUE EN LIGNE La série ultra rapide a été conçue pour des applications de dépôt par couche atomique, des cadences élevées, assurant une tenue à des cadences élevées, des hautes températures en processus d’ultra haute pureté. Les contraintes de répétabilité sont assurés grâce à un mécanisme unique de réglage du débit (brevet No. US910,079/61 en attente) L’option coiffe rallongée et ailettes de refroidissement apporte une solution parfaite pour les applications à haute température. VANNES À MEMBRANE HAUTE PURETÉ SPÉCIFICATIONS DES...

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VANNES ULTRA RAPIDES À COMMANDE PNEUMATIQUE AVEC MEMBRANE MÉTALLIQUE ET MONTAGE EN SURFACE Le design de montage en surface correspond à la norme SEMI PR 3.1 pour 1.112'' Joint-C. Cette série est fabriquée selon les spécifications UHP du SEMI F20- avec des mécanismes de commande pneumatique Structure Pression Chapeau allongé Fuite: Fuite intérieure A travers le siège Porte-bouton d’actionnement Porte-bouton d’actionnement Acier inoxydable, ASTM 630 H900 Extended Regulating Bonnet Temps de réponse de la vanne Approvisionnement d’air Finition de surface Ra (Ave)-Standard Acier au carbone + PTFE...

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DIMENSIONS DES MODÈLES STANDARDS VANNES À MEMBRANE HAUTE PURETÉ DIMENSIONS DE LA VANNE - INCH (MM) Taille du SÉRIES corps Montage en surface HTC Mâle (4x)* Trou de repérage de fuite Vue du dessous * Les trous M5 sont compatibles avec 10-32 vis de montage Les dimensions sont à titre de référence uniquement et peuvent faire l’objet de changements. Trou de repérage de fuite ULTRA-CLEAN VALVES

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Matériau Body du corps Material UF En ligne UFS Montage en surface Indicateur du corps 4 1/4” Corps 8 1/2” Corps Par SEMI F2( | 0305-20) Pour vannes en ligne uniquement | (8/1 Haute temp. Options X Extendeur F Extendeur avec ailette Trous de cartouche pour le thermocouple et le radiateur Trous de cartouche avec thermocouple Trous de cartouche avec radiateur Trous de cartouche pour thermocouple et radiateur Options de contrôle D Électrovanne, DC LS Commutateur de limite Appareil d’activation HTC Femelle à pivot HTC Mâle à pivot HTC Mâle in. par les trous pour uniquement les vannes UF20 INDICATEUR...

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ULTRA-CLEAN VALVES VANNES À MEMBRANE HAUTE PURETÉ

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