VANNES À MEMBRANE HAUTE PURETÉ VANNE À MEMBRANE ULTRA RAPIDE VANNES À MEMBRANE ULTRA HAUTE PURETÉ POUR DES APPLICATIONS DE DÉPÔT PAR COUCHES ATOMIQUES ET DES APPLICATIONS DE MANŒUVRES ULTRA RAPIDES HAM-LET ADVANCED CONTROL TECHNOLOGY

VANNES ULTRA RAPIDES À COMMANDE PNEUMATIQUE AVEC MEMBRANE MÉTALLIQUE EN LIGNE La série ultra rapide a été conçue pour des applications de dépôt par couche atomique, des cadences élevées, assurant une tenue à des cadences élevées, des hautes températures en processus d’ultra haute pureté. Les contraintes de répétabilité sont assurés grâce à un mécanisme unique de réglage du débit (brevet No. US910,079/61 en attente) L’option coiffe rallongée et ailettes de refroidissement apporte une solution parfaite pour les applications à haute température. VANNES À MEMBRANE HAUTE PURETÉ SPÉCIFICATIONS...

VANNES ULTRA RAPIDES À COMMANDE PNEUMATIQUE AVEC MEMBRANE MÉTALLIQUE ET MONTAGE EN SURFACE Le design de montage en surface correspond à la norme SEMI PR 3.1 pour 1.112'' Joint-C. Cette série est fabriquée selon les spécifications UHP du SEMI F20- avec des mécanismes de commande pneumatique Structure Pression Chapeau allongé Fuite: Fuite intérieure A travers le siège Porte-bouton d’actionnement Porte-bouton d’actionnement Acier inoxydable, ASTM 630 H900 Extended Regulating Bonnet Temps de réponse de la vanne Approvisionnement d’air Finition de surface Ra (Ave)-Standard Acier au carbone +...

DIMENSIONS DES MODÈLES STANDARDS VANNES À MEMBRANE HAUTE PURETÉ DIMENSIONS DE LA VANNE - INCH (MM) Taille du SÉRIES corps Montage en surface HTC Mâle (4x)* Trou de repérage de fuite Vue du dessous * Les trous M5 sont compatibles avec 10-32 vis de montage Les dimensions sont à titre de référence uniquement et peuvent faire l’objet de changements. Trou de repérage de fuite ULTRA-CLEAN VALVES

Matériau Body du corps Material UF En ligne UFS Montage en surface Indicateur du corps 4 1/4” Corps 8 1/2” Corps Par SEMI F2( | 0305-20) Pour vannes en ligne uniquement | (8/1 Haute temp. Options X Extendeur F Extendeur avec ailette Trous de cartouche pour le thermocouple et le radiateur Trous de cartouche avec thermocouple Trous de cartouche avec radiateur Trous de cartouche pour thermocouple et radiateur Options de contrôle D Électrovanne, DC LS Commutateur de limite Appareil d’activation HTC Femelle à pivot HTC Mâle à pivot HTC Mâle in. par les trous pour uniquement les vannes UF20...

ULTRA-CLEAN VALVES VANNES À MEMBRANE HAUTE PURETÉ