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Services et sources de calibration Oriel

Services et sources de calibration Oriel
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Services et sources de calibration Oriel - 1

72 Sources lumineuses DOCUMENTATION TECHNIQUE SOURCES D’ÉTALONNAGE SOURCES AU DEUTÉRIUM SOURCES LAMPES À ARC INCANDESCENTES ILLUMINATEURS DE FIBRES & DE MONOCHROMATEURS SIMULATEURS SOLAIRES INSTRUMENTS DE PHOTOLITHOGRAPHIE ACCESSOIRES Téléphone : + 3 3 ( 0 ) 1 . 6 0 . 9 1 . 6 8 . 6 8 • T é l é c o p i e : + 3 3 ( 0 ) 1 . 6 0 . 9 1 . 6 8 . 6 9 Services et sources de calibration Oriel Lampe au Deutérium étalonnée 63945. Ces lampes étalonnées à traçabilité NIST sont des sources d'éclairement spectral fiables dans l’UV et le visible/proche infrarouge. Utilisez ces systèmes pour étalonner votre propre source d'éclairement ou pour transférer notre étalonnage à traçabilité NIST sur un système de détection spectroscopique. Nous proposons en standard des lampes individuelles ou des sources complètes quartz-halogène au Tungstène (QTH) ou au Deutérium – les sources complètes comprenant la lampe (et ses données d'étalonnage), son support et une alimentation électrique radiométrique. Traçabilité NIST Chacune de nos lampes de calibration est minutieusement testée afin d’assurer sa conformité aux spécifications. Ces lampes sont préconditionnées et font l’objet d’une sélection en bonne et due forme. Les mesures d’éclairement sont réalisées dans notre laboratoire d’étalonnage spécifiquement équipé à cet effet. Aux États-Unis, le National Institute of Standards and Technology (NIST) fournit les principales incertitudes pour lampes standard. Cette fourchette varie en fonction de la longueur d’onde et de la structure de la lampe. Une incertitude supplémentaire est introduite au cours de notre procédure. Les tableaux 1 et 2 montrent les incertitudes du NIST et de Newport pour les lampes QTH 1000 W et au Deutérium 30 W. Tableau 1 : k = 2 Incertitudes sur les mesures pour la source QTH 1000 W (modèle 63978) Longueur d’onde (nm) Ordre de grandeur de l'incertitude, fourni par le NIST Incertitude de mesure Newport (1) (en %) 250 2,23 2,8 350 1,35 2,5 654,6 1,01 2,5 900 1,34 2,5 1300 1,42 2,5 1600 1,89 2,8 2000 3,29 2,8 2400 6,50 2,8 (1) Incertitude supplémentaire due au transfert d’étalonnage. Note: Les valeurs d'incertitude peuvent varier de temps à autre. Tableau 2 : k = 2 Incertitudes sur les mesures pour la source au Deutérium 30 W (modèle 63979) Plage de longueurs d’ondes (nm) Ordre de grandeur de l'incertitude, fourni par le NIST Incertitude de mesure Newport (1) (en %) 200 1,1 3 210 1,0 3 250 1,0 3,0 350 1,0 3,0 (1) Incertitude supplémentaire due au transfert d’étalonnage. Note: Les valeurs d'incertitude peuvent varier de temps à autre. Établissement de vos propres normes Les lampes possèdent une durée de vie limitée. Si vous utilisez fréquemment votre lampe, nous vous recommandons d’acheter une ou plusieurs lampes non étalonnées afin de produire vos (votre) propre(s) norme(s) de travail. Choisir une source Nous proposons trois types de sources d'éclairement calibré : Sources QTH étalonnées • Plage d’étalonnage 250–2400 nm ou 300–2400 nm (selon la lampe) • Puissances disponibles de 45 W, 200 W et 1000 W Sources au Deutérium étalonnées • Plage d’étalonnage 250–400 nm • Proposé en modèle 30 W uniquement Sources/étalonnages sur mesure • Étalonnage de votre (vos) lampe(s) • Normes personnalisées Choisissez une lampe qui fournisse des niveaux d'éclairement proches de ceux que vous souhaitez mesurer dans la plage de longueurs d’ondes qui vous intéresse. L’utilisation d’une lampe qui produirait trop ou trop peu d'éclairement vous ferait probablement surestimer la linéarité de votre système de détection. Si vous avez besoin d’une norme d’éclairement pour une longueur d'onde inférieure à ~ 330 nm, choisissez une lampe au Deutérium. Cette lampe fournit un rayonnement UV supérieur à celui des lampes QTH (cf. figure 1), est étalonnée à 200 nm et possède l’avantage supplémentaire de produire très peu de lumière visible. Le faible niveau de rayonnement visible et procheinfrarouge réduit les problèmes de sortie de bande que connaissent les instruments d’étalonnage UV à base de photodiodes au Silicium et autres détecteurs large bande.

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Sources lumineuses 73 DOCUMENTATION TECHNIQUE SOURCES D’ÉTALONNAGE SOURCES AU DEUTÉRIUM LAMPES À ARC SOURCES INCANDESCENTES ILLUMINATEURS DE FIBRES & DE MONOCHROMATEURS SIMULATEURS SOLAIRES INSTRUMENTS DE PHOTOLITHOGRAPHIE ACCESSOIRES e-mail : france@newport-fr.com • web : www.newport.com Longueur d’onde (nm) Irradiance (mW.m-2.nm-1) 0,01 10 1,0 0,1 100 200 400 600 800 1000 1200 1400 1600 1800 2000 2200 2400 Lampe QTH 45 W Lampe QTH 200 W Lampe QTH 1000 W Lampe au deutérium Figure 1 : Éclairement spectral de lampes étalonnées. Supports pour utilisation des lampes à l'air libre Nos lampes...

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