Plus de précision. interferoMETER // Interféromètre absolu de haute précisio

Interféromètres absolus de haute précision interferoMETER Les interféromètres innovants à mesure absolue de Micro-Epsilon Il en résulte des avantages pour la mesure : créent une nouvelle référence en matière de mesure de distance et Mesures absolues ultraprécises, même pour d’épaisseur de haute précision. Les capteurs permettent d’obtenir les objets de mesure en mouvement des résultats de mesure stables avec une résolution inférieure au nanomètre en offrant une plage de mesure et un écartement de base Larges possibilités d’utilisation : relativement grands. Mesure de distance, mesure multi-crête...

Informations générales Une précision inégalée pour les applications industrielles en série Possibilités d’utilisation - un système adapté à chaque application Exemples d’application Possibilités de connexion / accessoires

Alors que les interféromètres à lumière blanche de Micro-Epsilon fournissent des valeurs de mesure absolues, les interféromètres à laser courants fournissent des mesures relatives en raison de leur principe. Les interféromètres à lumière blanche IMS mesurent de manière stable et absolue sans référence préalable. Cela est particulièrement avantageux en cas d’interruptions du signal, causées par exemple par des niveaux, des cavités, des réflexions erronées ou des surfaces structurées. Après l’interruption du signal, vous obtenez directement une valeur de mesure, alors que les interféromètres laser...

■ Précision maximale pour un écartement de base et une plage de mesure élevés ■ Petit spot lumineux permettant de détecter de petits détails, p.ex. des structures sur des semi-conducteurs et des composants électroniques miniaturisés. ■ Capteurs compatibles avec le vide, parfaits pour l'industrie des semi-conducteurs Résolution 30 pm Résolution latérale de 5 pm Linéarité ±10 nm Profil d’un wafer structuré L’IMS5600-DS offre une précision maximale dans la mesure des distances. Grâce à la mesure absolue, il est également possible de saisir des profils d’objets en mouvement. Mesures rapides sur de...

Grâce à leur conception robuste, les interféromètres sont également utilisés dans des environnements industriels, par exemple pour surveiller l’épaisseur des films de plastique avec une grande précision. Laser pilote breveté pour un affichage précis du point de mesure ■ Visualisation de la position de mesure avec un laser pilote breveté ■ Le laser pilote donne en plus de la position de mesure un feed-back sur la distance : Objet dans la plage de mesure : allumage constant du laser pilote Objet en dehors de la plage de mesure : le laser pilote clignote. ■ Capteurs robustes et compacts pour les...

Un système adapté à chaque application Les contrôleurs interferoMETER peuvent être combinés avec de nombreux capteurs. Le capteur et le contrôleur sont adaptés l’un à l’autre et calibrés en usine. Il est ainsi possible de réaliser des tâches de positionnement d’une précision nanométrique, des mesures de distance et d’épaisseur de couche, entre autres, dans un environnement de salle blanche et sous vide. Technology Group Sam Ethen 'et/l P

Applications interferoMETER Mesure de l’inclinaison des wafers Mesure d’épaisseur des films de plastique Lors de l’alimentation des wafers, des interféromètres absolus sont Les interféromètres absolus de la série IMS5400-TH sont utilisés pour utilisés pour mesurer l’inclinaison des wafers. Les interféromètres le contrôle en ligne de l’épaisseur des films. Les valeurs d’épaisseur fournissent des valeurs de distance absolue avec une résolution de sont saisies avec une précision submicrométrique à un taux de l’ordre du subnanomètre. La mesure permet d’assurer la plus grande mesure élevé, même lorsque...

Vérification de la position du masque Les interféromètres absolus sont utilisés pour aligner les photomasques. Les interféromètres fournissent des valeurs de mesure absolues de l’ordre du subnanomètre et permettent de positionner le masque avec une grande précision. L’utilisation peut alors également se faire sous vide. Pour contrôler l’épaisseur des revêtements, on utilise des interféromètres absolus de la série IMS5400-TH. Grâce à la grande zone de travail, il n’est pas nécessaire de positionner le z avec précision. Les valeurs d’épaisseur sont saisies au micromètre près avec une fréquence...

Mesure absolue de la distance avec une résolution nanométrique interferoMETER 5400-DS esure absolue avec une résolution M nanométrique Capteurs compacts et robustes avec écartement de base élevé Fréquence de mesure jusqu’à 6 kHz pour des mesures rapides Ethernet / EtherCAT / RS422 / PROFINET / EtherNet/IP Contrôleur robuste à refroidissement passif Configuration conviviale par le biais de l’interface web Intégration industrielle flexible DSDS DSDS Mesure de distance absolue avec une résolution nanométrique Petit spot lumineux pour mesurer les plus petits détails L’interféromètre absolu IMS5400-DS...