Interféromètres pour la mesure sans contact de la distance et de l’épaisseur
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Plus de précision. interferoMETER // Interféromètres à lumière blanche de haute précis

Interféromètres à lumière blanche de haute précision interferoMETER Les interféromètres à lumière blanche innovants de Micro-Epsilon Il en résulte des avantages pour la mesure : créent une nouvelle référence en matière de mesure de distance et esures absolues ultraprécises, même pour les objets de mesure M d’épaisseur de haute précision. Les capteurs permettent d’obtenir des résultats de mesure stables avec une résolution inférieure au nanomètre en offrant une plage de mesure et un écartement de base relativement grands. en mouvement ombreuses utilisations possibles : mesure de distance,...

Informations générales Une précision inégalée pour les applications industrielles en série Possibilités d’utilisation - un système adapté à chaque application Exemples d’application Type de système Utilisation Résolution Pages Dimensions / Accessoires

Laser : Référence nécessaire, perd sa position après une interruption du signal Lumière blanche : Pas de référence, valeur de mesure absolue avant et après une interruption du signal Alors que les interféromètres à lumière blanche de Micro-Epsilon fournissent des valeurs de mesure absolues, les interféromètres à laser courants fournissent des mesures relatives en raison de leur principe. Les interféromètres à lumière blanche IMS mesurent donc de manière stable et absolue sans référence préalable. Cela est particulièrement avantageux en cas d’interruption du signal, causée par exemple par...

Contrôleurs performants Les interferoMETER sont équipés de protocoles d’étalonnage individuels, qui documentent la précision obtenue. Modèles multi-pics Traitement intelligent du signal Boîtier en aluminium robuste et SLED durable empérature extrêmement stable grâce au T refroidissement passif Résolution maximale < 30 pm Paramétrage simple via l’interface web Contrôleur remplaçable (IMS5400) Maniement convivial via une interface web La configuration du contrôleur et des capteurs est intégralement exécutée sans logiciel supplémentaire, par le biais d’une interface web conviviale. L’interface...

Une précision inégalée pour les applications industrielles en série interferoMETER Résolution Z maximale et petite tache lumineuse Les capteurs produisent un petit spot lumineux qui est presque constant sur toute la plage de mesure. Le diamètre de la tache lumineuse permet de détecter de petits détails comme les structures sur les semi-conducteurs et les composants électroniques miniaturisés. Laser pilote pour un affichage précis du point de mesure Les interféromètres à lumière blanche fonctionnent avec de la lumière infrarouge, non visible (longueur d’onde d’environ 840 nm), ce qui fait...

Possibilités d’utilisation - un système adapté à chaque application interferoMETER Mesure de distance absolue Mesure de distance multi-pics Max. 14 valeurs d’espacement et calcul de l’épaisseur Objets de mesure : objets optiquement denses et Objets de mesure : objets transparents 14 valeurs de distance dans la plage de mesure de 2,1 mm Mesure stable d’épaisseur Mesure d’épaisseur multicouche stable Mesure stable de l’épaisseur d’une couche Maximum 5 valeurs d’épaisseur de couches individuelles (et leurs combinaisons) Objets de mesure : objets de mesure transparents (jusqu’à 840 nm) Objets...

Mesure de l’inclinaison des wafers Lors de l’alimentation des wafers, des interféromètres à lumière blanche sont utilisés pour mesurer l’inclinaison horizontale de ceux-ci. Les interféromètres fournissent des valeurs de distance absolue avec une résolution de l’ordre du subnanomètre. La mesure permet d’assurer la plus grande précision de position possible lors de la prise et du retrait des wafers. Capteur : interferoMETER IMS5600-DS19/VAC Mesure d’épaisseur des films de plastique Les interféromètres à lumière blanche de la série IMS5400-TH sont utilisés pour la surveillance en ligne de...

Vérification de la position du masque Les interféromètres à lumière blanche sont utilisés pour aligner les photomasques. Les interféromètres fournissent des valeurs de mesure absolues de l’ordre du subnanomètre et permettent de positionner le masque avec une grande précision. L’utilisation peut alors également se faire sous vide. Capteur : interferoMETER IMS5600MP-DS19/VAC Vérification de la concentricité des axes Pour le balayage optique des axes de précision, on utilise trois IMS5400-DS qui mesurent sur la pièce en rotation. Grâce à cette disposition, il est possible de saisir des pistes...

Mesure de la distance absolue avec interferoMETER 5400-DS Mesure absolue au nanomètre près Mesure de la distance absolue avec une résolution de l’ordre du nanomètre L’interféromètre à lumière blanche IMS5400-DS ouvre de nouvelles perspectives dans la mesure des distances industrielle. Le contrôleur dispose d’une évaluation intelligente et permet des mesures absolues avec une résolution de l’ordre du nanomètre pour un écartement de base relativement grand. Comparé à d’autres systèmes optiques de mesure absolue, l’IMS5400-DS offre une combinaison inégalée de précision, de plage de mesure et...