| confocalDT // Système de mesure confocale à codage chromatique

■ Mesure confocale à codage chromatique La mesure précise de distance et de déplacement La gamme de capteurs confocalDT est garante d’une précision et d’une dynamique les plus élevées dans la technique de mesure confocale à codage chromatique. De nombreux capteurs et diverses interfaces permettent une multitude de champs d’applications, p. ex. dans l’industrie des semi-conducteurs, l’industrie du verre, la technique médicale et la construction mécanique. Le plus grand portefeuille de capteurs pour des mesures précises Le bon capteur pour chaque tâche de mesure. Que ce soit pour une utilisation...

Introduction Principe de mesure et particularités Mesure absolue de la distance / Mesure précise de l’épaisseur Exemples d’applications Capteurs confocaux chromatiques Plages de mesure (mm) Direction Mode de mesure confocalDT IFS2402 Capteurs miniatures confocalDT IFS2403 Capteurs hybrides confocalDT IFS2404 Capteurs compacts et capteurs pour les applications en série confocalDT IFS2405 Capteurs universels précis confocalDT IFS2406 Capteurs pour exigences spéciales confocalDTIFS2407-xHT/VAC Capteurs haute température jusqu’à 200 °C confocalDT IFS2407 Capteurs de haute précision Mesure de distance...

Principe de mesure et caractéristiques confocalDT Principe de mesure confocale à codage chromatique Une lumière polychromatique (lumière blanche) est diffusée sur la surface de l’objet à mesurer via une optique à plusieurs lentilles. Le système des lentilles spécial décompose la lumière blanche en ses longueurs d’onde monochromatiques grâce à une aberration chromatique contrôlée. Chaque longueur d’onde correspond à un point de distance précis grâce à un calibrage effectué en usine. Pour la mesure, le système du capteur reconnaît la longueur d’onde de lumière qui se focalise exactement sur l’objet...

Résolution de 1 nm Résolution latérale < 1,5 µm Linéarité de ±40 nm Le point lumineux le plus petit pour une haute résolution latérale Les capteurs confocalDT sont disponibles avec différents angles d’ouverture. Un grand angle d’ouverture avec une ouverture numérique (nombre NA) élevée permet d’obtenir un petit point lumineux (résolution X-Y) ainsi qu’une résolution Z élevée, ce qui permet Grâce à la faible taille du point focal, les détails et les structures les plus fins sont saisis de manière fiable. de saisir les plus petits détails avec une grande précision. La taille du point lumineux reste...

Mesure de distance absolue confocalDT Mesure précise du déplacement et de la distance sur quasiment toutes les surfaces Les systèmes de capteurs confocaux de Micro-Epsilon sont utilisés pour la mesure de déplacement et de distance à haute résolution. Grâce à cette technologie innovante, les mesures peuvent être effectuées avec une grande stabilité aussi bien sur des surfaces diffuses que sur des surfaces réfléchissantes. Grâce à la fréquence de mesure élevée, même les processus rapides peuvent être surveillés de manière fiable. Mesure de distance sur les objets transparents Lors de la mesure...

Mesure d’épaisseur précise confocalDT 5 couches avec 1 capteur Signal de mesure d’épaisseur d’une couche Signal de plusieurs couches (max. 6 peaks) Mesure d’épaisseur des objets transparents au micromètre près Les capteurs confocalDT permettent de mesurer l’épaisseur de matériaux transparents. La détection de cette épaisseur se fait au micromètre près. La mesure d’épaisseur de couches multiples intégrée permet d’évaluer l’épaisseur des objets multicouches telles que le verre feuilleté. Dans ce cas, il est possible de sélectionner le matériau approprié pour chaque couche afin d’obtenir des mesures...

Applications confocalDT Mesure de distance lors de la fabrication de wafers Positionnement des masques en verre De nombreuses étapes de fabrication génèrent des tensions Des capteurs confocaux chromatiques surveillent l’espace entre mécaniques lors de la production des wafers, ce qui peut entraîner le masque et le verre. Grâce à leur forme de construction à 90°, une courbure ou une déformation des wafers. Cette déformation est les capteurs peuvent être intégrés de manière extrêmement peu mesurée sans contact et avec une grande précision. Mesure de profil des lentilles pendant le processus de...

Assemblage automatique de circuits imprimés Utilisation dans les machines à mesurer tridimensionnelle Les modèles de capteurs IFS2404 sont parfaitement adaptés à la Les modèles compacts confocalDT 2410 / 2415 disposent d’un surveillance de la position, de l’orientation et de la hauteur en temps contrôleur intégré. Aucune fibre optique n’étant nécessaire, ce réel lors de l’assemblage automatisé de composants CMS. On capteur peu encombrant est particulièrement adapté à une utilisation obtient ainsi un processus efficace et automatisé, avec une qualité dynamique, comme dans les machines de mesure....