Capteurs & Applications Utilisation sous vide

Capteurs Micro-Epsilon pour le vide ■ Domaines de vide ■ Application de mesure sous vide ■ Application de mesure dans le vide depuis l’extérieur

Les capteurs ultraperformants et robustes de Micro-Epsilon peuvent être utilisés jusqu’à l’ultravide (UHV). tr Gammes de pression Torr Pa mbar Niveaux de vide mainSENSOR Vide Grossier Vide Fin Vide Poussé Ultravide 1) Source : iTeh STANDARD PREVIEW, 2019. Conforme à la norme ISO 3529-1:2019

Secteurs typiques

Les capteurs robustes et adaptés au vide de Micro-Epsilon résistent aux exigences élevées d’un environnement sous vide. Plus la pression souhaitée est faible, plus les exigences posées aux matériaux dans le vide sont élevées. Le vide poussé et l’ultravide notamment posent des exigences particulièrement élevées aux composants qui y sont utilisés et donc à la technique de mesure. Micro-Epsilon propose des capteurs adaptés selon les spécifications individuelles des clients. Les capteurs sous vide ultraperformants et robustes de Micro-Epsilon sont fabriqués en salle blanche de classe ISO 6. Grâce...

Variations de mesure Mesure sous vide Dans cette application, une partie du système se trouve sous vide. Variante 1 : Le capteur et le câble pour le vide sont tous deux introduits dans l’espace vide d’air par une traversée étanche au vide. Variante 2 (capteur spécifique au client) : Seul le capteur se trouve sous vide. Le capteur fait office de traversée étanche au vide et peut également être développé selon les besoins du client. La mesure sous vide doit répondre à des exigences élevées. Dans les deux premières variantes, le contrôleur se trouve toujours à l’extérieur du système. Mesure dans...

Application de mesure sous vide Sous-système sous vide // Capteurs optiques @ (SToptoNCDT ■ Capteur de déplacement compact à triangulation laser pour des mesures rapides et précises ■ Mesure de déplacement et de distance sans contact avec de grandes plages de mesure ■ Haute précision sur de nombreuses surfaces ■ Forme compacte et installation facile ■ Application jusqu’au vide grossier Les capteurs laser optoNCDT sont extrêmement compacts et disposent d’un contrôleur entièrement intégré. Cela permet un montage et un câblage simples et rapides. Ces capteurs laser peuvent donc être intégrés sans...

Fabrication additive Recherche et développement Soudage laser sous vide Technologie des semi-conducteurs Pierrage et rodage de wafers

Application de mesureSous-système sous vide // CapteursconfocalDT ■ Mesure de distance et d’épaisseur ■ Spot lumineux très petit ■ Grand angle d’inclinaison ■ Résolution au nanomètre près ■ Application jusqu’à l’ultravide Les capteurs confocalDT sont construits avec des composants passifs et n’émettent donc pas de chaleur dans l’environnement. En particulier, pour l’utilisation sous vide, Micro-Epsilon propose des capteurs, des câbles et des accessoires adaptés à la spécification respective (salle blanche, vide, ultravide UHV). Actuellement, des capteurs compatibles avec le vide sont disponibles...

Fabrication de wafers Positionnement de masques Fabrication d’écrans

Application de mesure sous vide Sous-système sous vide // Capteurs optiques ■ Mesure de la distance absolue avec une précision de l’ordre du nanomètre ■ Mesure de distance multi-peak et mesure d’épaisseur multicouche ■ Mesures d’épaisseur précises, indépendamment de la distance du capteur ■ Grande stabilité du signal ■ Application jusqu’à l’ultravide L’interféromètre à lumière blanche adapté au milieu industriel se compose d’un capteur robuste, d’un câble de capteur très flexible et d’un contrôleur dans un boîtier en aluminium qui peut être fixé sur un profilé chapeau. Grâce à sa conception robuste,...

Application de mesure sous vide Sous-système sous vide // Capteurs électromagnétiques ■ Capteurs inductifs (à courants de Foucault) de déplacement, de distance et de position ■ Mesure de déplacement et de distance sans contact ■ Fréquence limite élevée pour des mesures dynamiques ■ Stabilité thermique, idéal pour les environnements difficiles ■ Versions résistantes à la pression jusqu’à 2000 bar ■ Capteurs du catalogue jusqu’au vide fin, produits OEM possibles jusqu’à l’ultravide Les capteurs de déplacement eddyNCDT sont conçus pour la détection sans contact d’une trajectoire, d’une distance,...

Tâches de positionnement de wafers ou de barrettes Technologies de revêtement Aéronautique

Application de mesure sous vide Sous-système sous vide // Capteurs électromagnétiques capaNCDT ■ Capteurs de déplacement capacitifs pour les tâches de mesure industrielles ■ Haute précision même en cas de variations de température ■ Idéal pour des mesures stables à long terme ■ Application jusqu’à l’ultravide Les capteurs de déplacement capacitifs sont souvent utilisés dans des environnements sous vide ou dans des salles blanches. Dans un environnement exempt de particules, les capteurs capacitifs de Micro-Epsilon atteignent une résolution de l’ordre du subnanomètre. Sur les objets conducteurs,...